Марҳилаҳои хаттии хурди мотордор: WN267TA20H

Масоҳати сафар

20мм

Резолюция

0,125мкм

Такрорпазирӣ

＜1мкм

Ростӣ

＜2мкм

Параллелизм

＜5мкм

Питинг (θy)

10″（50мрад）

Yawing (θz)

10″（50мрад）

Суръати максималӣ

5мм/сек

Иқтидори борбардорӣ

10 кг

Вазн

1,5 кг

Вижагиҳо:
Марҳилаи моторизатсияшудаи ултра дақиқ бо истифода аз ронандаи мотори қадами баланд, қарори баланд.

Слайди хаттии ултра борикии воридшуда барои таъмини дақиқии баланд ва паймон, интихоби аввалин барои танзими дақиқ аст