Масоҳати сафар
20мм
Резолюция
0,125мкм
Такрорпазирӣ
＜1 мкм
Ростӣ
＜2 мкм
Параллелизм
＜5 мкм
Питинг
10"（50 мкр)
Ёш
Суръати максималӣ
5мм/сек
Иқтидори борбардорӣ
10 кг
Вазн
1,5 кг
